オールインワン透過型電子顕微鏡『LVEM25E』
表面測定、明/暗視野測定・元素分析、電子回折が一台で可能
特長
1台で5つのイメージングモードを実現
- TEM、STEM、SEM、EDS、EDの各モードを搭載
- 直感的に使えるソフトウェアによるイメージングモードの簡単な切り替え
- TEMとSTEMの両モードでの明視野・暗視野測定
- 表面測定用のSEMモード（BSE）
- 元素分析用エネルギー分散型分光器（EDS）
- 結晶構造を理解する為の電子回析（ED）
完全一体型で移設可能なデザイン
- 極めてコンパクトな省スペース・ポータブル設計
- ほぼすべての実験室環境にシングルプラグで設置が可能
- 特別な設備（冷却、特別な電源、防振など）は必要ありません
標準的な試料で高いコントラストと解像度を実現
- 生物学的試料と軽元素試料における比類なきコントラスト
- 染色を減らしても有意な結果
- 1.0nmの画像分解能を実現
- 従来の方法で準備された試料の撮像が可能
- 非常に迅速な試料交換
技術的特徴
特別な設備は必要なし
心配不要のインストール
LVEM25Eは特別な電気系統、配管系統の配慮を必要とせず、ほとんどのスペースに容易に設置することができます。プラグを一般的なコンセントへ差し込むだけで、わずか数時間で運用を開始することができます。
自動アライメント
最適なイメージング条件
LVEM25Eのカラムアライメントと絞り値のポジションをソフトウェアで自動調整・制御することで、オペレーターによる手動修正が不要になりました。これによりLVEM25Eは常に最適なパフォーマンスでイメージング出来る状態になり、モード間の切り替えも迅速かつ容易に行う事ができます。
統合化されたデザイン
コンパクトで移設が可能
完全な自己完結型のデザインにより、設置場所の選択肢を最大限に広げ、真の意味で電子顕微鏡の無理の無い移設を初めて可能にしました。
2段変倍
堅牢かつパワフル
LVEMのユニークなデザインは、電子ビーム像を光学系でさらに拡大させ、安定した信頼性の高い性能をユーザーに提供します。
永久磁石レンズ
冷却不要
LVEMのプラットフォームは永久磁石レンズを採用し、冷却を一切必要とせず、コンパクトで堅牢、かつ使い勝手のよい装置となっています。
迅速な試料交換
高スループットイメージング
メンテナンスフリーのターボ分子ポンプと、振動のないイオンゲッターポンプを組み合わせた新設計の真空システムにより、超高速の試料交換時間を実現し、汚染のない超高真空イメージング環境を提供します。
高速かつ容易な真空の回復
ソフトベークとガンコンディショニングの自動化
LVEM25Eは万が一真空が失われた場合のダウンタイムを短縮します。自動ソフトベークとガンコンディショニング機能により真空の回復が早く、サービス要員の訪問も必要ありません。
電界放射電子銃
高コントラスト
非常に高い輝度と空間コヒーレンシーを持つ25kVショットキー型FEGにより、放出された電子と試料中の原子の間に強い相互作用が生じます。これが、LVEM25Eに独自の高コントラストを与えているのです。
ダイレクトビーム測定
低線量定量
このLVEM25Eの機能により、ユーザーは試料の照射量を計測することができます。
実際の撮像画像
TEMモード
STEMモード
暗視野モード
SEMモード
EDモード
EDSモード
⇒LVEM25Eのサンプル撮像はこちら！
用途
材料科学分野
| ナノマテリアル | ポリマー研究 |
|---|---|
| 高コントラストのTEM・SEM測定により、ナノ粒子の形状・構造・サイズ分布をキャプチャし、詳細な特徴を明らかにします。 | 高コントラストTEM測定と詳細なEDデータを使用して、サンプルの携帯を理解し、高分子材料の結晶構造の損傷を検出します。 |
ライフサイエンス
| 病理学 | ウイルス学 |
|---|---|
| 薄片のハイスループット画像をキャプチャ、または染色を減らして通常は染色により隠れてしまう構造を分析します。TEM・SEM測定を組み合わせて、基本的な表面特性とサンプル品質を確認します。 | 最小ウイルスの量・サイズ・形状・カプシド構造に関する詳細を迅速かつ確実に測定します。STEMモードを使用して、より大きなウイルスの内部構造を分析します。 |
| 生化学 | |
| サイズ・形状・構造研究用に染色、またはタンパク質などの様々な生体材料の高コントラストのネガ染色画像をキャプチャします。 |
概略仕様（オプション含む）
オペレーション
| サンプルサイズ | 標準φ3.05mmTEMグリッド |
|---|---|
| 対物レンズ | Magnetostatic |
| 投影レンズ | Electrostatic |
| サンプル移動 | x,y: ±1mm z: ±0.5mm |
| 傾斜フォルダー | ±6° |
| サンプル交換時間 | 約3分 |
| バキューム | |
| エアロックシステム | |
| ダイヤフラムとターボ分子ポンプ | 10-5 mbar |
| サンプルステージ | |
| イオンゲッターポンプ | 10-8 mbar |
| 電子銃 | |
| イオンゲッターポンプ | 10-9 mbar |
イメージングモード
| TEM | |
|---|---|
| 標準加速電圧 | 25kV |
| 解像度 | 1.0nm |
| 総合倍率* | 3,400-1,300,000 x |
| 低倍率領域での倍率* | 1,500x |
| 視野 | 100 - 0.25 μm |
| 低倍率領域での視野 | 225μm |
| *binning 2×2で表示中の画像にて有効 | |
| 電子回析 | |
|---|---|
| プローブサイズ | 500 – 8,000nm |
| カメラ長（binning 2×2） | 2,000- 5,000 ピクセル |
| カメラコントラスト（binning 2×2） | 1740nm ピクセル |
| STEM | ||
|---|---|---|
| STEM10 | STEM15 | |
| 標準加速電圧 | 10kV | 15kV |
| 解像度 | 1.0nm | 1.3nm |
| 最大倍率 | 940,000x | 750,000x |
| 最大視野 | 105μm | 80μm |
| SEM | ||
|---|---|---|
| SEM10 | SEM15 | |
| 標準加速電圧 | 10kV | 15kV |
| 解像度 | 10nm | 10nm |
| 最大倍率 | 940,000x | 750,000x |
| 最大視野 | 105μm | 80μm |
| EDS | |
|---|---|
| 検出器タイプ | シリコンドリフト検出器(SDD) |
| 有効検出エリア | 30mm2 |
| X線ウィンドウ | ウィンドウ無し |
| エネルギー分解能 | Mn Kα≦129eV |
| 最大処理能力 | 130 000 cps |
| ハードウェア統合 | 完全組み込み |
| ソフトウェア | Esprit 2.3 |
イメージ
| TEMイメージキャプチャ | |
|---|---|
| カメラ | sCMOS |
| センサーサイズ | 2,048 x 2,048ピクセル |
| ビット数 | 16ビット |
| STEMイメージキャプチャ | |
| 2,048 x 2,048 ピクセル / 8ビットまで | |
| SEMイメージキャプチャ | |
| 2,048 x 2,048 ピクセル / 8ビットまで | |
重量と寸法
| 顕微鏡ユニット | ダイアフラムポンプ | 電子ユニット | |
|---|---|---|---|
| 重量 | 220kg | 3kg | 50kg |
| 寸法（幅x奥行x高さ） | 780 x 740 x 1450mm | 300 x 160 x 200mm | 1400 x 700 x 760mm |
消費電力
| スタンバイモード | 60VA |
|---|---|
| 操作時 | 410VA |
| 最大消費量 | 600VA |
| 主要電源 | |
| 電圧/周波数 | 100 – 240V / 50 – 60Hz |
