フォトレジストディスペンスポンプ｜PDS-105R

再現性±0.3%（F.S.）以下。
大幅な省レジスト、コンタミフリー。

特長

ステッピングモータ駆動により、再現性±0.3%（F.S.）以下を実現しました。

主要部品を成型化して、コストが低減しました。

高さ：260mm（当社従来品：330mm）
幅：50mm（当社従来品：60mm）

駆動源に高トルクステッピングモータを使用しているため、フィルタの目詰まりや粘度変化によって吐出負荷が増加しても吐出量の減少がほとんどなく、高い吐出量精度を維持します。従って塗布量の設定は必要最小限で済み、レジスト液の使用量を大幅に削減できます。

• 吐出精度：±0.3%（F.S.）
• 直線性：±0.5%（F.S.）
• 分解能：0.01mL

ポンプ部は内面が平滑でデッドボリュームの少ないチューブフラム構造を採用。レジスト液の滞留部がほとんどなく、パーティクルの発生を防ぎます。

半導体関連のレジストディスペンス用途において、摺動部・滞留部が無いため、液のゲル化を抑えます。

吐出速度を1ショット内で任意に変えることができるため、微量・短時間塗布など多様なレジストコートプロセスに対応可能です。

内蔵の圧力センサ（オプション）で吐出圧力をモニタリングすることにより、フィルタの交換時期が管理できます。また、吐出量・吐出時間の設定はコントローラへの数値入力のみでOK。オペレータの手間がかからず、ダウンタイムの短縮が図れます。