エアー駆動ベローズポンプ｜FAシリーズ

中温仕様の2タイプ

横型で少流量モデルのFA-2型と、たて型大流量モデルのFA-40VEW型を標準化。FA-2型はスプレー方式の枚葉処理用、FA-40VEW型は200/300mmウェハーの洗浄用に適しています。

長寿命設計

FA-40VEW型には肉厚のベローズを採用。耐圧性に優れ、長期連続運転にも耐える長寿命設計です。

近接スイッチ方式

ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切り替えるセンサ駆動方式を採用。 また、リークセンサを標準装備しています。

センサー駆動方式

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、ゴム・金属を使用しないコンタミフリー設計です。また、FF-Hシリーズの本体とベローズは完全に溶接されているため、ヒートサイクルによる液漏れがありません。

簡単操作

専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡単に行えます。