ポンプストロークの高速化により 小型・軽量・ローコスト化を実現
製品動画
特長
小型・軽量・ローコスト化
ポンプストロークの高速化(Max. 240 spm※)により小型・軽量・ローコスト化を実現するとともに、脈動の低減を図りました。
ストローク数は機種により異なります。
コンタミフリー設計
接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど金属露出のない設計です。また、独自開発のシャフトシール (PAT.) の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。
幅広い液温範囲・高圧吐出
液温範囲は5～180℃、吐出圧力はMax. 0.45 MPaまで可能なため、洗浄プロセスやCMPプロセスはもとより、薬供プロセスでも使用可能です。
近接スイッチ方式
ポンプに内蔵された近接スイッチで電磁弁を切り替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。
簡単操作
専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。
概略仕様
| 最大吐出量 | 55 L/min |
|---|---|
| 最高供給エアー圧力範囲 | 0.15〜0.5 MPa |
| 最大エアー消費量 | 670 NL/min |
| 最大ポンプストローク数※ | 240 spm |
| 主要材質 | PTFE, PFA |
| 液温範囲 | 5～180℃ |
※ 供給エアー圧力が0.3〜0.5MPa時には、Max. 180spmとなります。
• 最大吐出量は清水20℃の場合による性能です
