Max. 100L/min
薬液供給用の大流量モデル
特長
高速ストローク
高速ストローク（Max.200spm：FS-80NT型）で小型・軽量・ローコスト化を実現しています。
コンタミフリー設計
接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。また、弊社独自に開発したシャフトシール（FS-80NT型…PAT.）の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。
大流量/高圧吐出
供給エアー圧力はMax.0.7MPaまで可能なため高圧・大流量吐出が必要な薬供プロセスはもとより、洗浄・CMPプロセスまで幅広く使用することができます。
センサー駆動方式
ポンプに内蔵された近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサー駆動方式を採用。確実に作動するため、各種コントローラーに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。
概略仕様
| 型 式 | FS-80NT | FS-100NF | ||
|---|---|---|---|---|
| 最大吐出量 L/min |
80 | 100 | ||
| 供給エアー圧力範囲 MPa |
0.2～0.5 | 0.5～0.6 | 0.6～0.7 | 0.2～0.7 |
| 液温範囲 ºC |
5～60 | 5～60 | ||
| 最大エアー消費量 NL/min |
1029 | 938 | 787 | 1495 |
| ポンプストローク数 spm |
Max.200 | Max.150 | Max.110 | Max.100 |
| ポンプ接続口径 | φ25×φ22mm PFAチューブ | JIS 20K 25Aフランジ | ||
| エアー接続口径 | Rc 3/8 | Rc 1/2 | ||
| 周囲温度 ºC |
0～40 | |||
| 駆動方式 | 近接スィッチ方式 | |||
- ●最大吐出量は清水20°Cの場合による性能です
