クリーン乾燥装置｜真空ガス置換乾燥装置

真空排気による効率的なガス置換により、処理室内の酸素濃度を迅速に低減、低酸素環境でのクリーンなガス雰囲気循環ファン加熱をおこないます。

置換に要するガス量と時間を大幅に低減

強力な真空排気機能によりガス置換を効率的におこない、フロー式に比べガス量の節約と時間の短縮をもたらします。

酸素濃度管理と工程管理が確実で容易

一定の排気能力を持った真空ポンプで槽内エアを排気し、ガス置換の繰り返し回数で酸素濃度を確実に管理できます。同時に置換に要する時間も確定されますので、トータルの工程管理も確実、容易におこなえます。

真空用チャンバー・部品で構成し、外部雰囲気の 影響を受けません

読構造、強度など真空用として設計製作されておりますので、システム全体の漏れ量は極めて少なく(Leak rate：×10-6Pa･L/sec以下)、真空排気中でも外 部雰囲気に影響されず、低酸素雰囲気でのクリーンな加熱処理が可能です。

真空とガス雰囲気…2種類の加熱処理が1台でできます

当社標準規格の真空仕様で、真空乾燥・真空ベーキン グ処理ももちろん可能です。

強制冷却機能(オプション)により、処理時間をさらに短縮

オプションの強制冷却機能を組込むことにより、ワー クの取り出し温度までの冷却時間を大幅に短縮し、結果としてトータルの処理時間を短縮します。

主として、半導体部品、電気･電子部品、電子材料、金属、セラミック、新素材等の低酸素雰囲気でのクリーンな乾燥･ベーキング処理工程に広く用いられています。もちろん、真空乾燥･真空ベーキング処理にもお使いいただける構造となっています。