各種電池・電極などの乾燥・ベーキング・脱ガス処理のための装置。露点管理可能なグロー ブBOX により、乾燥・ベーキング処理後のワークへの水分吸着を防止
特徴
お客様のニーズ(目的、用途、使用循環など)に合った最適の装置をご選択いただけます。
仕様
槽内寸法 | W400×D400×H400㎜~W800×D800×H800㎜ | |
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性能DY | 到達圧力 |
×101Pa (油回転真空ポンプ) ×10‒4Pa (ターボ分子ポンプ) |
加熱温度範囲 | 100℃~400℃ | |
グローブBox内露点 | - 65℃以下(約4ppm) | |
構成 | 排気系 | 油回転真空ポンプ 油回転真空ポンプ+ターボ分子ポンプ |
加熱系 | 外部壁面加熱(180℃以下)又は内部棚板加熱(500℃以下) | |
温度制御 | 温度調節計によるPID制御 | |
棚段数 | 3~4 | |
操作方式 | 全自動運転/手動運転 |