研究開発用、及び小ロット生産用の抵抗加熱式小型蒸着装置。本シリーズの一部機種には電子ビーム（ＥＢ）の搭載も可能です。
特徴
コンパクトな外観と優れた内部機構、コントロール系を有し、排気系は、手動式及び全自動操作が可能です。誘電体膜( 光学系) から、アルミ、クロムなどの金属膜を容易に形成し、その応用は広範囲です。他に電子ビーム蒸着及び膜厚モニターによる自動蒸着制御タイプ、生産用大型蒸着も製作しております。
概略仕様
| 型式 | HSV-3-30G | HSV-8-50 | HSV-12-80 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 到達圧力 | ×10-3Pa | ×10-4Pa | |||||
| 基板加熱温度 | - | Max 300℃ | |||||
| 蒸発源（電極） | 2対 10V Max150A | 2対 20V Max200A | |||||
| バルブ操作 | 手動 | 自動 | 手動 | 自動 | 手動 | ||
| 真空槽 | φ300×H300mm 透明ガラス |
φ500×H500mm(水冷式) SUS 304 |
φ800×H700mm (水冷式)/前扉式 SUS 304 |
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| 回転機構 | - | 公転機構 | 自公転機構 | ||||
| 内部機構 | シャッター機構,抵抗加熱機構 | シャッター機構，加熱ヒーター,抵抗加熱機構 | |||||
| 主ポンプ | 油拡散3inches | 油拡散8inches | 油拡散12inches又はクライオ | ||||
| 補助ポンプ | 150L/min | 500L/min | 1500L/min | ||||
| 主バルブ | 3inches | 8inches | 12inches | ||||
