真空環境内ピンポイントの圧力をダイナミックに測定
非平衝状態にある真空環境内の圧力分布を同時に測定できます。
特長
測定できなかったところでの 測定が可能に！
- 真空環境内へ設置でき、ピンポイントで圧力の状態、変化が測定できる。
- センサを複数設置でき、圧力の分布が測定できる。
見えなかったところが可視化できます！
- ガスの状態（流れ・量）が見える。
- 装置内の状態が連続的に見える。
- シミュレーション結果が見える。
高品質化、歩留まりの向上を通して 低炭素化（環境負荷の低減）が達成できます！
- 真空装置、生産設備を最適な状態に改善、また最適状態を常時確認できる。
