CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルタ
特長
- CMPスラリーのろ過に適した密度勾配型のデプスフィルター。
- 最適化されたメディアデザインにより、フィルター性能とライフタイム性能を向上。
- デッドボリュームが少なく、コンパクトなディスポーザブルデザイン。
- フィルター交換が容易なマニホールドタイプもご用意。
概略仕様
材質 | フィルター | ポリプロピレン |
---|---|---|
ハウジング | ポリプロピレン | |
O ‐ リング | EPDM | |
最高使用圧力 | 0.34 MPa at 20℃ | |
最大許容差圧 | 0.28 MPa at 20℃ | |
最高使用温度 | 50 °C |
製品型番
- SDR0353E1
- SDR035CE1
- SDR0553E1
- SDR055CE1
- SDR0753E1
- SDR075CE1
- SDR1053E1
- SDR105CE1
- SDR3053E1
- SDR305CE1