QuickChange® (クイックチェンジ) NX フィルターは、水溶性薬液、特にアウトガスの発生する薬液、反応性の高い酸・アルカリ用の先進的なフィルターです。
28 nm 以上のテクノロジーノードにおける水溶性薬液、特にアウトガスの発生する薬液、反応性の高い酸・アルカリ用の高流量で優れた粒子除去性能のフィルターです。
概略仕様
| 孔径: | 0.03, 0.05, 0.1, 0.2 µm | |
|---|---|---|
| 材質: | フィルター | Non-dewetting PTFE |
| サポート | PFA | |
| コア、スリーブ、キャップ | PFA | |
| ハウジング | PFA | |
| 接続: | 入口/出口 | スーパー300タイプピラー、またはフレアテック (サイズは製品型番のご案内でご確認ください) |
| ベント/ドレン | スーパー300タイプピラー、またはフレアテック (サイズは製品型番のご案内でご確認ください) |
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| 初期清浄度: | 金属抽出量 | 通常品 <10μg/デバイス、高清浄品(UCM)<3μg/デバイス |
| 初期粒子放出量 | 0.05μm 以上の粒子が50個/10mL以下 | |
| 膜面積: | 1.8 m2 | |
| 最高使用圧力: | 0.58 MPa at 25 C. 0.097 MPa at 200 C | |
| 最大許容正差圧: | 0.44 MPa at 25 °C, 0.05 MPa at 200 C | |
| 最大許容逆差圧: | 0.34 MPa at 25C | |
| 最高使用温度: | 200 C | |
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