拡散前処理洗浄後の急速乾燥に最適
各種ウェハー洗浄後の急速乾燥に絶好な機種
特長
入江のスピンドライヤーは拡散前処理洗浄後の急速乾燥に最適。各種ウェハー洗浄後の急速乾燥に絶好な機種。
- メガビットメモリーデバイスにもっとも適したタイプ。
- 半導体製造プロセスにおけるウェハーなどの洗浄ならびにダイシング後の急速乾燥に最適。
- 上ブタより、常に清浄な空気を吸引しているので、ウェハー表面はいつもクリーンな乾燥状態が得られます。
- ローターが容易に着脱できるので、メンテナンスがいたって簡単です。 軸受部等からのコンタミネーションが皆無といえます。
- オートドアインターロック方式等、操作の安全性も万全です。
- ４”φ～１２”φまで処理が可能です。
- 既設備された自動洗浄システムにラインナップさせることが可能です。
- 静電気防止、ウルパフィルターは標準装備。
概略仕様
概略仕様（１キャリアタイプ）
| 型式 | SPD-180 |
|---|---|
| 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 8A |
| 駆動エアー | 0.3Mpa (3Kg/cm2) |
| 最大処理量 | 8インチ×25枚キャリア 1キャリア |
| ULPAフィルタ | 有 |
| イオナイザ | 有 |
| 制御 | PLC・インバータ |
| 操作部 | タッチパネル |
| 運転レシピ登録数 | 5種類 |
| 回転数 | 3500rpm(5インチまで・6インチ以上は3000rpm) |
| モータ | インバータモータ |
| 寸法 | 652(W)×1135(D)×1080(H)mm 蓋開時の高さ1352(H)mm |
| 重量 | 110Kg |
概略仕様（２・４キャリアタイプ）
| 型式 | H840A-900（半自動）（クレドール定位置停止・回転） |
|---|---|
| 使用キャリアサイズ | 直径150mm×4 直径200mm×2 |
| 電源 | AC ３相 200V 50/60Hz 30A |
| 駆動エアー | 0.4～0.5Mpa 20 L/min |
| 排気 | 直径 150mm（オートダンパー付） |
| 排水 | VP25 |
| 外寸（mm） | 900W×1090D×1136H 蓋開閉時 1854H |
| フィルター | ULPAフィルター ※KEPAフィルターもオプションで選択できます |
| モーター | AC ３相 200V 4P 2.2KW |
| 回転数（インバーター制御） | １速 3000rpm ２速 600rpm max 800rpm |
| タイマー （任意デジタル設定） |
１速 可変 0～999秒 ２速 可変 0～999秒 |
| 静電除去装置 | 蓋内部に設置 |
| 安全機構 | バランス異常時自動停止、過負荷運転防止 |
| 重量 | 約350kg |
