拡散前処理洗浄後の急速乾燥に最適
各種ウェハー洗浄後の急速乾燥に絶好な機種
特長
入江のスピンドライヤーは拡散前処理洗浄後の急速乾燥に最適。各種ウェハー洗浄後の急速乾燥に絶好な機種。
- メガビットメモリーデバイスにもっとも適したタイプ。
- 半導体製造プロセスにおけるウェハーなどの洗浄ならびにダイシング後の急速乾燥に最適。
- 上ブタより、常に清浄な空気を吸引しているので、ウェハー表面はいつもクリーンな乾燥状態が得られます。
- ローターが容易に着脱できるので、メンテナンスがいたって簡単です。 軸受部等からのコンタミネーションが皆無といえます。
- オートドアインターロック方式等、操作の安全性も万全です。
- ４”φ～１２”φまで処理が可能です。
- 既設備された自動洗浄システムにラインナップさせることが可能です。
- 静電気防止、ウルパフィルターは標準装備。
概略仕様
| 形式 | SPD-180（自転式） | H-840SA（対向式） |
|---|---|---|
| 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 8A | AC200V 3φ 50/60Hz 15A |
| 駆動エアー | 0.3Mpa (3Kg/cm2) | 0.5Mpa (5Kg/cm2) |
| 最大処理量 | 8インチ×25枚キャリア 1キャリア | 6インチキャリア×2架 5インチ以下キャリア×2架又は4架 |
| 許容積載重量 | - | 2,000g以内(各クレードルへの積載重量) |
| ULPAフィルタ | 有 | |
| イオナイザ | ||
| 制御 | PLC・インバータ | |
| 操作部 | タッチパネル | 釦スイッチ |
| 運転レシピ登録数 | 5種類 | - |
| 回転数 | 3,500rpm (5インチまで・6インチ以上は3,000rpm) |
1,000rpm (常用回転数 800rpm) |
| モータ | インバータモータ | |
| 寸法 | 652(W)×1135(D)×1080(H)mm 蓋開時の高さ1352(H)mm |
800(W)×990(D)×1004(H)mm 蓋開時の高さ1528(H)mm |
| 重量 | 110Kg | 180Kg |
