特長
優れた濡れ性
PTFEに比べ膜の表面エネルギーが高いため、フォトレジスト溶剤に対し濡れ性が優れています。
これにより初期立ち上げの時間短縮や薬品廃棄量の低減が期待できます
新製法によるメンブレン
超高分子量ポリエチレンメンブレンは、独自の新製法により完成しました
低吸着性
一般的なフォトレジスト中の界面活性剤の低吸着性が確認されています。
・ISO登録認定工場による製品
概略仕様
| UPE | UPX | ||
|---|---|---|---|
| 材質: | フィルター: | 超高分子量ポリエチレン (UPE) (疎水性) | |
| 膜面積 | 10": 8500 cm2 | 4": 5000 cm2 | |
| 20": 17,000 cm2 | 10": 11,000 cm2 | ||
| 30": 25,500 cm2 | - | ||
| サポート、コア、スリーブ | 高密度ポリエチレン (HDPE) | ||
| ケムロックキー (キー付きのみ) | PFA | ||
| O-リング (AS568-222) | E-FKM または EPDM | E-FKM または カルレッツ | |
| 除粒子径: | 0.05、0.1、0.2、0.5、1.0 µm | ||
| 使用条件: | 最大許容正差圧: | 0.35 MPa @ 25 °C | |
| 最大許容逆差圧: | 0.27 MPa @ 20 °C | ||
| 使用温度 | 60 °C | ||
