スパッタリング、蒸着装置、プラズマ処理装置（表面改質、有機物除去等）を低コストでお探しの方に最適です。研究開発用として必要な分だけ買い足せる成膜装置「キット」です。
用途事例
| 超親水性 | 酸化チタンの光触媒膜 | ||
|---|---|---|---|
| 酸化防止 | 半導体の接点部分に金を成膜 | ||
| ＭＥＭＳ | 微細構造を成膜とエッチングにより作成 | ||
| 微細磁気記録 | 磁気ヘッドの高透磁率磁性膜で極薄のヨークを形成 | ||
| レアメタルの使用量削減 | 触媒用白金を表面だけに成膜 | ||
| 電磁波シールド | 薄膜にすることで軽量化、小型化を実現 | ||
| サーマルヘッドの発熱体 | 微細な発熱部を薄膜で作成 | ||
| 透明導電膜 | フラットパネルディスプレー等 | ||
| 照明器具の反射板 | ＬＥＤのケース | ||
| 各種光学フィルター | CCD用赤外線カットや、プロジェクター光源の分光フィルター | ||
| 反射防止膜 | メガネやカメラのレンズコーティング | ||
| 装飾品 | 化粧品容器、家電製品等のプラスチックに金属を真空メッキ | ||
| 静電破壊防止、電磁波透過 | 携帯電話、家電製品の筐体装飾 （不連続膜；金属色であるが電気は流れない） |
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| 可視光反射及び赤外光透過 | ハロゲンランプのコールドミラー | ||
| 水素センサー | 水素吸収による光透過率の変化により検出 |
概略仕様
- チャンバーユニット：チャンバー、ゲート弁、スパッタ源（または蒸着源orプラズマ源）、ビューポート、試料ステージ（オプション：加熱or冷却、RF印加）
- 排気セット： 油回転ポンプ、ターボ分子ポンプ(または油拡散ポンプ＋バルブ)、架台、等
- 真空配管： (ゲージポート、ベントバルブ、ガス導入口 付き)
- 真空計１：ピラニー真空計
- 真空計２：熱陰極電離真空計（B-Aゲージ）
- 真空計３：ダイアフラム真空計
- 電源ユニット：スパッタ用ＤＣ電源（またはスパッタ用RF電源＋マッチングボックスor抵抗加熱蒸着用電源）
- ガス導入ユニット：マスフローコントローラ（またはニードルバルブセット）
- 試料搬送用ロボット（手動式）
- ロードロック兼搬送室：（チャンバー取付面 ４室用または６室用）蓋、粗引きバルブ、ベントバルブ、架台
