高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプで
10-5Paが安価に得られます
特長
熱せられた拡散オイルがノズルから噴射されることにより発生する超音速のジェット噴流によって、高真空域まで排気します。 単独運転はできず、油回転真空ポンプをバックポンプとして、組合せて使用します。なお、組合せて排気セッ トとした製品は真空装置内の高真空排気装置をご参照ください。
概略仕様
型式 | 排気速度 | 到達圧力*2 | 油逆流量 | 油量 | 電源 | 電力 | 始動時間 | 所要水量 | 臨界背圧 | 質量 |
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(1.3×10-3Pa時) | ||||||||||
L/sec | Pa | mg/cm2min | mL | V/φ | W | min | L/min | Pa | kg | |
バッフル無/有 | バッフル無/水冷バッフル付 | |||||||||
SDP-2 | 125/58 | ×10-5 | ×10-2/×10-4 | 50 | 100/1 | 0.33 | 15 | 0.5 | 20 | 4 |
SDP-2A*1 | 58 | 7.5×10-4 | 4.7 | |||||||
SDP-3 | 280/150 | ×10-2/×10-4 | 100 | 100/1 | 0.5 | 20 | 1.0 | 6 | ||
SDP-3A*1 | 150 | 7.5×10-4 | 7.5 | |||||||
SDP-4 | 380/215 | ×10-2/×10-4 | 150 | 100/1 | 0.7 | 20 | 1.5 | 8 | ||
SDP-4A*1 | 215 | 7.5×10-4 | 10 | |||||||
SDP-6 | 810/465 | ×10-2/×10-4 | 340 | 200/1 | 1.0 | 20 | 3.0 | 15 | 20 | |
SDP-8 | 1450/790 | ×10-2/×10-4 | 500 | 200/1 | 1.4 | 25 | 4.0 | 30 | ||
SDP-10 | 2070/1200 | ×10-2/×10-4 | 820 | 200/1 | 1.9 | 25 | 5.0 | 41 | ||
SDP-14 | 3600/2350 | ×10-2/×10-4 | 1600 | 200/3 | 4.5 | 30 | 7.0 | 120 |
- *1 SDP-2A,SDP-3A,SDP-4Aは空冷式です。
- *2 使用作動油: ライオンS