複合材料の画像化から硬質大型試料への 広範な領域の非破壊内部構造解析に対応可能

製品動画

特長

科学計測・解析に必要不可欠な条件を最高度に具備したX線CT装置と広範で多様な機能を有する画像処理ソフトを整合した新世代システム。
非破壊内部検査の常識を覆す最高レベルの解像度、コントラストを提供します。

  • 機種ラインアップ 最高分解能500nmのサブミクロンスケールからラインアップ。
  • 高い解像度・広いダイナミックレンジ 空間分解能:1mmから75mmまでの試料の全体撮影および部分拡大(ズーミング)が可能。 コントラスト(階調)分解能:金属から 軽元素複合素材まで鮮明な画像化が可能。
  • 高い寸法精度 高精度標準器で試料走査空間座標を校正。
  • 高速処理 独自のRawデータ収集&画像再構成アルゴリズムにより業界最速レベルの処理能力。
  • 三次元画像表示機能 立体画像と断面画像を同じフレームに表示する新機能により、試料の観察部位と画像上の位置対比が一目瞭然。

概略仕様

スタンダート仕様/カスタム仕様

型式 TDM1001-II TDM1001-DD TDM1301-II TDM1601-II TDM1601-DD TDM2301-FP TDM3001-FP
X線発生部 方式 密封管(反射型) 開放管(透過型) 開放管(反射型)
管電圧範囲 30〜100KV 30〜100KV(X線カメラ使用時30〜90KV) 30〜130KV 30〜160KV 30〜160KV(X線カメラ使用時30〜90KV) 30〜230KV 30〜300KV
管電流範囲 0〜200μA 0〜300μA 0〜200μA 0〜1000μA 0〜1000μA(管電圧231~300kV範囲は500μA制限)
ターゲット材質 タングステン
フィラメント材質 タングステン LaB6/タングステン タングステン
最小チャート分解能*1 5μm 0.25μm/0.8μm 4μm 10μm
X線検出器 方式 イメージインテンシファイア イメージインテンシファイア/X線カメラ イメージインテンシファイア イメージインテンシファイア/X線カメラ FPD
画素配列数 2048×2048
検出面サイズ 60×60mm
30×30mm
切替
60×60mm
30×30mm
切替/X線カメラ
13×13mm
60×60mm
30×30mm
切替
60×60mm
30×30mm
切替
60×60mm
30×30mm
切替/X線カメラ
13×13mm
400×400mm
画素サイズ 30×30μm
15×15μm
切替
30×30μm
15×15μm
切替/X線カメラ
6.5×6.5μm
30×30μm
15×15μm
切替
30×30μm
15×15μm
切替
30×30μm
15×15μm
切替/X線カメラ
6.5×6.5μm
200×200μm 200×200μm
出力階調 12ビット 12/16ビット 12ビット 12/16ビット 16ビット
マニピュレータ 自動6軸構成(拡大軸・オフセット軸・昇降軸・回転軸・サンプル位置調整軸X-Y)、オートセンタリング機能
搭載可能サンプル 最大外形寸法 φ150×H150mm φ150×H250mm φ300×H300mm φ420×H450mm
最大質量 2Kg 12Kg 20Kg
最大X線透過厚 アルミ換算50mm アルミ換算75mm アルミ換算100mm アルミ換算150mm アルミ換算200mm
最大倍率分解能(画素値)*2 0.5μm 0.75μm 0.25/0.5μm 5μm 10μm
外部漏洩線量 1μSv/h以下 2μSv/h以下
演算制御部 OS:Microsoft Windows 64bit 日本語版 メモリ容量:32GB以上 ストレージ容量:3TB データ記録:CD-R、DVD-R/DVD-RAM

*1 X線メーカー出荷時の数値です。
*2 記載の数値は、撮影画素値であり実効空間分解能を直接表すものではありません